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概述：

   可對樣品進(jìn)行單點(diǎn)、五點(diǎn)、九點(diǎn)、多點(diǎn)、直徑掃描、面掃描等模式的全自動(dòng)測試；

   屏蔽測試，完全消除光線對樣品測試的影響，保證測量的準(zhǔn)確性；

   吸附測試，完全消除全自動(dòng)測試過程中樣品移動(dòng)對測試的影響；

   可不連接電腦使用進(jìn)行單點(diǎn)、中心五點(diǎn)、邊緣五點(diǎn)測試并把測試結(jié)果同時(shí)顯示于顯示屏；

    運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合全自動(dòng)測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。

   儀器由主機(jī)、測試臺(tái)、四探針探頭、真空泵、屏蔽罩、計(jì)算機(jī)等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制進(jìn)行全自動(dòng)測試，然后把測試數(shù)據(jù)采集到計(jì)算機(jī)中加以分析，以表格、圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測試結(jié)果。