微振動測量激光干涉儀ZLM900
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產(chǎn) 地:更新時間:2021-01-19 09:17
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JENAer測量技術(shù)公司生產(chǎn)的雙頻激光干涉儀,是世界上******將的蔡司光學鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的制造商。該公司的雙頻激光干涉儀,不僅能夠精確的測量數(shù)控機床的幾何量,如線性度、直線度、垂直度、角度、平面度等,還能夠測量數(shù)控機床的回轉(zhuǎn)量等。多軸干涉儀儀更可測量和檢測物體的微位移、擺動振動情況、工作臺的運動情況等。上圖為***個具體的3-軸干涉鏡和3-軸反射鏡系統(tǒng),光束由激光頭發(fā)出后進入干涉鏡,3-軸干涉鏡把輸入的光束分為三個部分:
信號光束1用于位移的測量,信號光束2用于俯仰角的測量,信號光束三用于偏擺角的測量。
所有的光束照射到被測物體(3-軸反射鏡固定在被測物體上)后再次反射到干涉鏡上,每個信號光束與反射的光束進行干涉,然后干涉光束傳輸?shù)郊す忸^里,進行信號分析后進入到軟件里。
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三軸測量軟件(位移、偏擺和俯仰角) | 三角關(guān)系的設(shè)定 |
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測量結(jié)果的統(tǒng)計 | 在位置5開始測量 |
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位移和角度的完全測量 | ISO230數(shù)據(jù)統(tǒng)計標準 |
由本公司代理,德***耶拿爾
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