薄膜反射和透射的在線監(jiān)測系統(tǒng) RT Inline

 

反射率、透射率和膜厚的高速在線測量是RT Inline的設(shè)計特點。傳感器頭陣列掃描薄膜在大型玻璃基板上的反射和/或透射，作為內(nèi)部參考測量。利用FTPadv Expert軟件可以方便地進行層沉積過程的在線監(jiān)測。軟件接口可用于與主機的數(shù)據(jù)通信。

 

高速薄膜測量

借鑒內(nèi)部參考技術(shù)，不需要在單獨的位置上進行外部參考測量。這保證了連續(xù)多點薄膜測量的速度。

 

多探頭裝置

多達7個傳感器探頭由***個控制器驅(qū)動，為均勻性監(jiān)測提供了具有成本效益的解決方案。

 

SENTECH軟件

易于使用、基于配方的FTP軟件包括***個大型的預(yù)定義應(yīng)用數(shù)據(jù)庫，這些應(yīng)用符合研發(fā)以及生產(chǎn)環(huán)境中的質(zhì)量控制要求。

 

RT inline 薄膜測量系統(tǒng)是為沉積過程的在線質(zhì)量控制而設(shè)計的。該方法基于SENTECH***的薄膜厚度探針FTPadv，用于測量反射率和薄膜厚度。它分別工作在420～1050 nm、2000～2500 nm的光譜范圍內(nèi)。可以分析光滑和紋理結(jié)構(gòu)的TCO薄膜、CdS薄膜、a-Si、µ-Si、CIGS和CdTe吸收膜。

 

通過RT inline，可以無損傷地監(jiān)測大型玻璃基板或塑料線圈上TCO、吸收層和緩沖層沉積的均勻性。薄膜厚度和反射率測量是通過固定安裝的傳感器探頭在玻璃基板上方從沉積設(shè)備傳送到下***個工藝期間進行的。

 

***個控制器可以操作多達7個傳感器，使得RT inline測量儀器具有成本效益、靈活性和生產(chǎn)性的結(jié)果。選配的超聲傳感器控制探頭和玻璃平臺之間的距離，以排除錯誤的測量結(jié)果。

 

SENTECH配方驅(qū)動的FTP軟件FTPadv Expert包括預(yù)定義的即用應(yīng)用程序綜合包。它提供了***個選配的軟件接口，用于將數(shù)據(jù)從測量儀器傳輸?shù)街鳈C。因此，可以通過來自主機或傳送的信號手動或自動進行薄膜測量。

 

使用SENTECH SENresearch光譜橢偏儀開發(fā)的配方可以直接傳輸?shù)絉T inline中?；谶@樣的光譜數(shù)據(jù)，甚至可以在線測量復(fù)雜的層疊膜。

 

 

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上***個：MDPinline 光伏測量儀器