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創(chuàng)新點

◎的光斑可視系統(tǒng)（技術): Auto SE 集成了的MyAutoView光斑可視系統(tǒng)（技術），該系統(tǒng)配備在標準橢圓偏振光譜儀中,允許操作者全程觀測樣品光斑，以確保各種類型的樣品都能在完全正確的位置，以合適的光斑尺寸進行測量。解決了現(xiàn)有測量技術中的“盲測”難題。 ◎***鍵式操作，大大提高工作效率。 ◎共焦微光斑技術： 提供8種不同光斑尺寸的自動選擇。 ◎全自動智能診斷及故障處理：大大減輕了設備的維護負擔。

  儀器簡介：

       新型的全自動薄膜測量分析工具，工業(yè)化設計，操作簡單，可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動測量和分析，并輸出分析報告。是用于快速薄膜測量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。

技術參數(shù)：

?光譜范圍：450-1000 nm

?多種微光斑自動選擇

?光斑可視技術，可觀測任何樣品表面

?CCD探測器

?自動樣品臺尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自動調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm

?70度角入射

主要特點：

?完全自動化設計，***鍵式操作，直接報告輸出
?液晶調(diào)制技術，測量光路中無運動部件
?CCD探測系統(tǒng)，快速全譜輸出
?多個微光斑尺寸選擇，可視技術
?封閉式樣品倉