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真空紫外橢偏儀

價  格:詢價

產(chǎn)  地:更新時間:2021-01-18 16:44

品  牌:型  號:UVISEL 2 VUV

狀  態(tài):正常點擊量:2440

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上海非利加實業(yè)有限公司

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配送方式: 上海自提或三方快遞

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    專為VUV 測量設(shè)計,整個系統(tǒng)處于真空狀態(tài),無氧氣吸收。具備高度準(zhǔn)確性;的超快測量速度;快速樣品室抽真空能力,方便快速更換樣品;氮氣消耗量少。

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產(chǎn)品特點

  • 50KHz 高頻PEM 相位調(diào)制技術(shù)

  • 45 秒內(nèi)完成充氮氣

  • 2 分鐘內(nèi)完成樣品室抽真空

  • 8 分鐘內(nèi)完成光譜全譜范圍內(nèi)測量

  • 兩種工作模式:氮氣清洗結(jié)合抽

  • 真空、連續(xù)氮氣清洗

  • 光譜范圍:147nm~850nm;147nm~2100nm



重點應(yīng)用領(lǐng)域

  • 超薄膜

  • 157nm 光刻新材料

  • 有機(jī)材料、高分子材料

  • 高k 材料:HfO2、Al2O3、TiO2、HfxAlyOz

  • 抗反射涂層

  • 半導(dǎo)體和介電材料電子躍遷

  • MgF2、CaF2、LaF3


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產(chǎn)品參數(shù)


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