韓國SEC SNE-3000MS基本型臺式掃描電鏡
價 格:詢價
產(chǎn) 地:更新時間:2021-01-18 15:20
品 牌:型 號:SNE-3000MS基本型
狀 態(tài):正常點擊量:2210
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SNE-3000MS型臺式掃描電鏡是韓***SEC公司研制的基本型Mini-SEM,非常適合于主要用SEM在1萬倍放大倍率下進行表面觀察的用戶。其分辨率為15nm,放大倍數(shù)為6萬倍;可通過U.I界面中鼠標(biāo)控制簡單、方便地操作3軸載臺移動;能使用多種掃描模式與測試工具獲得多種分析結(jié)果。
技術(shù)參數(shù):
電子光學(xué)系統(tǒng) | 分辨率 | 15nm(30kV, 二次電子成像) |
放大倍率 | 20x~60,000x |
加速電壓 | 1~30kV (1/5/10/15/20/30) |
探測器 | 二次電子探測器(SE) |
電子槍 | 預(yù)對中鎢燈絲 |
載臺系統(tǒng) | 載臺運動 | 3軸系統(tǒng) (X, Y, R) X, Y-軸: 40mm / R-軸: 360° * 影像偏移 : ±150μm * Tilt-軸 : 0~45°(選配) |
樣品尺寸 | 70mm(Φ)*30mm(H) |
成像系統(tǒng) | 自動功能 | 自動啟動,自動聚焦,自動消像散,自動調(diào)節(jié)對比度與亮度 |
圖像格式 | BMP, JPEG, PNG, TIFF |
真空系統(tǒng) | 真空模式 | 高真空 |
真空泵 | 旋轉(zhuǎn)式機械泵/渦輪式分子泵(全自動) |
尺寸與重量 | 主機 | 390(W)x380(D)x560(H)mm, 83kg |
控制單元 | 390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg |
旋轉(zhuǎn)泵 | 400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg
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