強(qiáng)大的通用性與分辨率的完美結(jié)合
JSM-7500F場發(fā)射掃描電鏡的電子光學(xué)系統(tǒng)將場發(fā)射電子槍和半浸沒式(semi-in-lens)物鏡組合為***體,場發(fā)射電子槍在低加速電壓下也能夠?qū)㈦娮邮劢沟煤芗?xì),與通用型掃描電鏡***樣,對(duì)大樣品也可以進(jìn)行高分辨率的觀察。
GB模式(即柔和光束)能以極低能量的入射電子束觀察樣品的淺表面
通過給樣品加以偏壓并照射電子束,能夠利用分辨率高于***般模式的GB模式,與能獲得高分辨率的電子光學(xué)系統(tǒng)配合使用,JSM-7500F可用能量為數(shù)百電子伏的入射電子束對(duì)樣品的淺表面進(jìn)行高分辨率觀察,這是迄今為止所未能實(shí)現(xiàn)的。
新型r-過濾器對(duì)二次電子和背散射電子的選擇性檢測
新型 r-過濾器有標(biāo)準(zhǔn)SB(二次電子檢測)模式、標(biāo)準(zhǔn)BE模式(背散射電子檢測)、Sb模式(二次電子優(yōu)先)和Bs模式(背散射電子優(yōu)先)四種模式。Sb模式能檢測以任意比例和背散射電子混合的二次電子,Bs模式能檢測以任意比例和二次電子混合的背散射電子,這些功能在簡明易懂的菜單上都可***鍵操作完成。
注:該儀器未取得中華人民共和***醫(yī)療器械注冊(cè)證,不可用于臨床診斷或治療等相關(guān)用途