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壓電響應(yīng)力顯微術(shù) (PFM) 

生物材料與鐵電材料等的成像 

許多材料的機(jī)電耦合行為，如生物基細(xì)胞膜和蛋白質(zhì)，鐵電和壓電材料從現(xiàn)

在開始都可以用壓電響應(yīng)力顯微鏡來(lái)表征。 

這***成像技術(shù)在開發(fā)基于鐵電疇變等的新型電子設(shè)備方面引起了極大的關(guān)

注，在對(duì)將來(lái)電腦存儲(chǔ)等領(lǐng)域的諸多應(yīng)用方面的發(fā)展有著巨大的潛力。 

壓電響應(yīng)力顯微術(shù)是在掃描探針顯微鏡的基礎(chǔ)上，在接觸式掃描過(guò)程中對(duì)探

針施加***個(gè)交流電壓，利用材料自身逆壓電效應(yīng)來(lái)探測(cè)樣品表面形變的***類技術(shù)

總稱（見圖1）。壓電響應(yīng)力顯微術(shù)已經(jīng)成為鐵電材料研究的重要手段，廣泛應(yīng)

用于納米尺度疇結(jié)構(gòu)的三維成像、疇結(jié)構(gòu)的動(dòng)態(tài)研究、疇結(jié)構(gòu)控制和微區(qū)壓電、

鐵電、漏電等物理性能表征等領(lǐng)域。其的優(yōu)勢(shì)就是同時(shí)具有極高的分辨率

（~10-20 nm）和靈敏度（~0.1 pm/V）。