日本新宇宙XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀
價 格:詢價
產(chǎn) 地:更新時間:2021-03-16 11:20
品 牌:其他型 號:
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日本新宇宙XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀
產(chǎn)品特點
* 適合于檢測半導(dǎo)體特氣的微量泄漏
* 采用聲光報警
產(chǎn)品參數(shù)
日本新宇宙XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀
參數(shù)規(guī)格
型號 | XP-703D |
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檢測對象氣體 | 半導(dǎo)體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等) |
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檢測原理 | 熱線型半導(dǎo)體式 |
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采樣方式 | 自動吸引式 |
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可檢測濃度 (單位:ppm) | 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 |
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檢測表示 | 蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍 |
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應(yīng)答速度 | 10秒以內(nèi) |
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產(chǎn)品介紹
日本新宇宙XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀
日本新宇宙XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀,檢測對象氣體:胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等。